飞秒激光双光子聚合加工技术具有高精度、真三维、工艺简单等特色,可以实现分辨率突破光学衍射极限的微纳米三维结构的打印,被广泛用于聚合物、有机-无机混合材料、生物相容材料的加工。
但是该加工技术基于逐点格栅扫描的加工模式加工效率较低,限制了其进一步应用。中国科学技术大学精微纳米工程实验室吴东教授课题组针对此做出了研究。
图1 图(a)(b)(c)为SLM生成图形化光场,(d)(e)(f)为时域平均后的图形化光场
图2 SLM控制单点扫描得到的里约奥运会LOGO
图形化光场投影加工虽然可以快速加工二维微纳米结构,通过对闪耀光栅和球面波因子函数的编码排序,实现了飞秒激光焦点沿着预设的三维路线上的可控扫描加工,并对扫描工艺参数进行了定量化研究,从而实现了三维结构的单点扫描加工(如图2)。